2、橢偏儀測(cè)薄膜厚度的基本原理：電磁阻抗原理。交流阻抗也叫做電化學(xué)阻抗譜(Electrochemical Impedance Spectroscopy，簡(jiǎn)寫(xiě)為 EIS)，早期的電化學(xué)文獻(xiàn)中稱為交流阻抗(AC Impedance)。

3、橢偏儀12是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。由于測(cè)量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對(duì)樣品沒(méi)有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種極具吸引力的測(cè)量?jī)x器。

4、因此可以作為分析工具使用。對(duì)一些表面結(jié)構(gòu)、表面過(guò)程和表面反應(yīng)相當(dāng)敏感。